产品应用
- 集成电路28-90nm 技术节点逻辑、存储器件- gate，contact，metal，via等工艺应用
- 集成电路28-90nm 技术节点逻辑、存储器件
- gate，contact，metal，via等工艺应用
产品特点
- 分辨率：65-130nm- 正负性，高分辨，高对比度，宽工艺窗口
- 分辨率：65-130nm
- 正负性，高分辨，高对比度，宽工艺窗口
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